低温等离子体技术处理污染物的原理为：低温等离子设备在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有有害物质转变成无无害或低低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强优势的高新技术，等离子体受到了外废气治理方面的高度评价。